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第70章 我是浙江省国资委的（第1页）

日后名震世界、全球畅销长达10年之久的的T101芯片一一世界上第一种微处理器，起初竟然是为计算器设计的。确切地说，T100系列芯片是为"工程计算器"特别订制的。这个时候的电子计算器还是个比较昂贵的东西，摆在便利店里给老板算钱数肯定是奢侈了。现在的电子计算器多数用于政府部门和大公司中的会计部门、科研人员、工程设计人员。在历史年代，计算机并没有普及到个人，这个得等"个人电脑”（微型计算机）出现（而不巧的是带起个人电脑风潮的就是T101微处理器）。加上长久以来形成的工作习惯，许多工程设计人员还是习

惯在纸上做设计画图纸。

设计图纸可不是美术绘画，画着画着就要标注参数，标注参数就要计算。这时候如果手边有一台科学计算器，啊我看看这个隧道的受力极限值是多少，几下数字，选个对数或者开方之类的，得出结果了。

原本画着画着就要停下来算半天的工作，现在秒算秒填，也不用去作响的计算机房去操作计算机填写申请单，你就说方便不方便吧。T100系列芯片是"通计"实验室设计的，主任设计师是周开泉。T100系列芯片可以作为计算机的核心运算器件是倪光南提出来的。在那关还有一个极为有利的条件：周开泉设计出T100系列芯片后，让上电的芯片厂代工生产了一小批这种芯片，所以倪光南当场能掌到两套芯片，要回去揽一台计算机。当然这时候还没有适配T101处理器的主板，所以倪光南又拿了两块巴掌大的掌上计算器用的主板，打算用这主板改一改变成可以适配常见的计算机I0系统的主板。“虽然说神光机关现在进入分系统制备阶段，我们暂时闲下来了，可是。"蒋筑英提醒道，“做这个东西，是不是也太花时间和精力了？”倪光南：“没事，工作时间还是工作，这个下班时间做就完全足够。它的工作量其实没想象的那么大。对了，蒋哥，要不要一起鼓捣？”将筑英：“我都结了婚的人了，比不上你。”。。。倪光南因为沉迷于芯片和各种计算电路，现在还木结婚。。

倪光南：“有什么关系，正好了，我记得嫂子还是学电气工程的吧？一起来鼓捣。”将筑英：“。。

“在正式开始工作之前，我觉得先给我们手头的工作下一个定义。”倪光南所住的公寓楼的地下室（人防工事）。经过公寓管理员的许可，他和蒋筑英用了一个周末的时间，把地下室的两间屋子的杂物搬走腾空，作为倪光南版“微型计算机的设计制造间。蒋筑英虽然

是被倪光南拽着参加设计工作的，可在白天蒋筑英是倪光南的老板，所以一一蒋筑英出于工作习惯，站在顶层的高度阐述了一下他所理解的这台计算机的意义。

“上海农业学院的大专生也要求上计算机课，掌握计算机的基本常识和使用方法，这一条以前我没有注意的信息给了我很多启发。”“工业化和信息化同步建设的总目标又从国家的层面上确认了一点，那就是整个社会是信息化的，计算机将来是会遍布我们生活的每个角落的。所以计算机未来一定是。。一定是个人或者家庭就可以购

置的物品，和汽车一样，将来都会出现在家庭。

“所以，倪光南你的想法很有敏锐性。。。。8个256字节的ROM芯片够不够？”蒋筑英一下子就跳到具体的设计细节去了。了256字节的ROM，在计算器上用一片就够了。在计算机上不够，计算机得运行其他自由度更高（更复杂）的程序，需要在ROM中装订许多数据比如倪光南设想的，这台计算机可以运算速度不怎么样，但一定要带得动硬盘，这就得有个硬盘驱动程序一一仅这个程序的占用ROM大小可能就超过了“通计"设计的固化在科学计算器里的程序。倪光南想了想：“应该得8个256字节的ROM芯片并联在一起。我想了想，电路图应该是这样的。。

光画电路图可解决不了问题，这世界上第一条内存条最后要落实到请工厂代工制作电路板。个人请工厂代工？不好申请。不过解决的办法也有，首先是可以借用神光计划甚至复旦的半导体的名头。其次是，如果不想惹上公器私用的纠纷也简单，注册一个公司就可以了。“一种使用计算器的运算芯片的计算机？这种想法也不是不可以上电的通用计算机设计组我觉得可以安排出人手组建一个小团队。”这是黄昆给蒋筑英和倪光南的建议。将筑英觉得无所谓，交给上电通用计算机设计室也行，倪光南却担心上电的设计班子无法理解他的真正的想法。

“你要组建一个自己的设计团队？“蒋筑英发现倪光南的脑洞越来越大了。“不是我自己的，是咱们两人的，就咱们两个人担纲，其他的人只需实现我们的想法。“倪光南信心十足，“这样，组建团队就不用什么技术大牛，普通的半导体专业的本科生就可以，因为技术大牛有

我们两个就够了。

蒋筑英：“你可别把副业当主业了啊。不说了不说了，我得去一南京督促他们，回来正好差不多是国庆节，假期连看周未，我打算回杭州老家看看爸妈。”

南京负责非接触掩膜光刻机的步进系统，这个系统在1963年蒋筑英初构想光刻机的时候并未考虑到，但深入下去之后才意识到光刻机从接触式改非接触式之后要一个步进系统，而且，这个步进系统是光刻机的核心器件之一。

接触式掩膜光刻机用的不是步进系统，是对准系统。掩膜要放在硅片上固定，直接和硅片接触，而且从第二代光刻机开始采用多次曝光的方法来“晒"硅片上的光刻胶，掩膜就要重复放下去固定照射抬起来再放下去固定的过程，对准系统就是干这个用的。保证掩模重复抬起放置时，定位在精确的位置的能力。

非接触掩膜光刻机用的不是汞灯而是激光器，光路发散聚焦再发散再聚焦，最后光线汇聚照射在单晶硅片表面的某一区域，让这一区域“显影"出芯片的图案，就要硅片不停地移动，完成多次曝光。“咔”“咔”“咔嗪”“。蒋筑英去的南电集团的实验室以前是做雷达的旋转系统的，这倒是和步进系统有点沾边，造出来的机器的基本要求都是一样的：要做极致精确的运动。将筑英进实验室的时候，南电的实验室管理员让他先进到一个小隔间，然后指着一套看起来像防化服的装具：“您好，进去之前，得先穿上它，然后再进入洗尘间，然后才能进入工作间。”蒋筑英：“啊呀，老程不得了，你们都搞无尘车间了。”步进系统的设计主任老程说道：“现在的问题是，即使有二小粒10微米直径的灰尘进入了步进系统的激光对准眼，这个仪器就可能发生光路不准的情况。还有啊，蒋主任，我不得不说一句，将来你们

光刻机如果进入到10微米以下、5微米、3微米，最后必然是要使用无尘车间。

蒋筑英：“我有这个想法，但没想到的是，你们步进系统首先意识到无尘车间的必要性。”老程：“我觉得你们现在就可以用10微米的生产线，改造成一个无尘的环境试一试，我觉得，真正无尘的环境下生产线的良品率肯定有一个肉眼可见的涨幅。”

非接触掩膜光刻机原型机使用的是10厘米（4英寸）单晶硅切成的硅片，像个茶杯垫。在1958年，李强和黄昆突然想用平面工艺生产芯片的时候，国内生产的单晶硅柱只能切出5厘米（2英寸）的单晶硅片，掌在手里就跟一块银元似的。

10厘米单晶硅无疑大大提高了芯片的生产效率，降低了生产成本，但也对单晶硅的品质以及整个芯片生产线的精度提出了新的要求。这曾是第五代（接触式）光刻机研制时最难解决的问题。蒋筑英的非接触式原型机也用10厘米单晶硅，很多工艺其实是沿用第五和第六代（接触式）光刻机上的半现成设计。但在计入定型前的最后

设计阶段，李强突然从北京打了个电话：

“蒋筑英啊，如果将来的单晶硅从10厘米扩大到15厘米，这种6寸硅晶圆掌来做芯片，光刻机尤其是那个步进系统你们想好如何修改吗？”蒋筑英“。李强：“15厘米之后是20厘米，之后是30厘米，你要考虑考虑，这些最后都要兼容哟。如果搭架子的时候为这些做好准备，那么光刻机的后续发展就会顺利很多。”将筑英把李强的压力传导到了南京，南京老程被迫眼泪注注地把步进系统的软硬件都设计为具有强扩展性的半开放式系统。半开放式系统还有另一个好处，就是它既可以在光刻普通芯片（比如处理器、内存芯片）的时候提供步进动作，在刻CCD、刻太阳能电池板的时候也可以很方便地切换过去，CCD（电荷耦合器件）现在在电子行业内部已经不是秘密了，不只是数码成像数字传输的侦察卫星，其他的产品线也在蠢蠢欲动，各家都在研究电荷耦合器件的数字成像技术。

“你好，请问您要去哪？”“我去庆春路，庆春路的南边，我认识路，到了地方我让你停车就行。”“好嘞。”杭州火车站。蒋筑英从南京出差归来就是9月29旦了，第二天下午他就和妻子一起坐火车回到了杭州。出火车站，蒋筑英照例打了一辆“三蹦子”。从火车站到庆春路爸妈住的地方其实很快，十几分钟

就到了。蒋筑英拎看皮箱、妻子背看大背包跳下三蹦子，他俩意外地发现一一家门口停了一辆车。

是那种苏联的老版轿车。“您好，是蒋筑英同志吗？”蒋筑英：“是啊。”“这位一定是您的爱人吧。”

“是啊。请问您是。。”“我是浙江省国资委的，“在家门口轿车旁的访客恭敬地说道，“我们对您和倪光南提出的微型计算机项目很感兴趣，不知道有没有兴趣仔细聊一聊？”